CPMプロセス用 スラリーポンプ (R)
スラリーの二次擬集、滞留がありません。
スラリーの供給・循環を支える高機能ポンプです。
ベローズ部を縦型にする事により、蛇腹部へのスラリー堆積がありません。
ベローズ部を縦型にする事により、蛇腹部へのスラリー堆積がありません。
特徴
理想的な流体フローを発生するため、ベローズひだ部の液溜りがほとんどありません。
シリカ系スラリーはもちろん、沈降速度が速いメタル系スラリーにも適応。
長年培ってきた経験に基づいて加工した弊社独自のベローズ。
接液部は、すべてふっ素樹脂を使用しているため、パーティクルの発生がなくクリーン。
専用アキュームレータとの組み合わせで、スラリーの低脈動吐出が可能。
性能
| 形式 | PC-10MB | PC-20MB | PC-40MB |
|---|---|---|---|
| 最大吐出量（L/min） | 12 | 24 | 48 |
| 最高使用圧力(MPa) | 0.5 | ||
| 使用温度（℃） | 10～100 | ||
用途
原液タンクや混合槽からスラリー液をCMP装置へ送液する際のポンプとして。
未送液時におけるスラリー沈降防止のためのスラリー液常時循環用ポンプとして。
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